Etilen ve oksijenin 200-300 oC sıcaklıkta reaksiyonunda oluşan gazdır. Hava ile birleşiminde yanıcı olmayan özelliğini sağlamak için, asal gazlar, CO2 ve halokarbonlar ile karışım halinde kullanılır.
CO2 karışımlı Etilen Oksit gazı ; Her türlü tıbbi malzemenin (şırıngalar, ameliyat iplikleri, ameliyat malzemeleri, önlükler, örtüler vb.) steril edilmesinde kullanılır.